MOTIC MET80L/MET120L晶圆观察显微镜
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    MET80L/MET120L晶圆观察显微镜概要:

    MET80L/MET120L 晶圆观察显微镜采用灵活的模块化设计、不仅确保卓越的光学性能,还具有安全稳定的机架结构,使之低重心、高刚性、高稳定性,极大的提高了显微镜的抗振能力,使 MET80L/MET120L 晶圆观察显微镜可广泛的应用于工业检测及大型试样检测,特别是 LCD 液晶屏行业、晶圆行业的理想检测工具。



    MET80L/MET120L晶圆观察显微镜特点:


    采用前置低位粗微同轴调焦系列,配合涡轮涡杆的自锁结构,使之在超大负荷工作下也不会出现下滑现象,

    以及长期使用的可靠性

    超大行程移动平台,最大移动范围: 305mmX305mm, 可适用于 12”的晶圆、LCD 或FPD 检测,

    也可用于小尺寸样品的陈列检测,通过切换离合器手柄可实现全行程范围内的快速移动。

    多样的照明器可供选择:12V50W 卤素灯明场落射照明,12V50W 卤素灯明暗场落射照明,LED明场落射

    照明,可以根据需要选择,电器全部内置主机,方便操作。

     高精度物镜转换器:采用精密轴承设计,秉承了麦克奥迪轻巧舒适的手感和良好的重复定位精度及同心精度。

    MET80L/MET120L晶圆观察显微镜的规格参数



    MET80L

    MET120L

    光学系统

    CCIS 无限远色差校正光学系统

    目镜

    高眼点平场大视野,±5D 视度调节,10X/20,明场可选(10X/22)

    物镜

    长距明场金相物镜 5X/0.13,10X/0.30,20X/0.40

    观察筒

    30°倾斜铰链式双目镜筒;30°倾斜铰链式三目镜筒

    双目镜筒瞳距

    55~75mm

    样品最大厚度

    ≥ 38mm

    物镜转换器

    内定位五孔物镜转换器


    中间体

    12V50W 卤素灯明场落射照明,

    12V50W 卤素灯明暗场落射照明,

    LED 明场落射照明,

    全部采用反射式柯拉照明,带可调式可变视场光栏和可变孔径光栏,

    可配偏光附件

    偏光附件

    附件式,检偏器可 360 度旋转,消光比≥ 10000

    粗微动调焦装置

    粗微同轴调焦,粗动调焦 3mm/ 转,微动调焦 0.1mm/ 转,0.001mm/ 格。

    机械移动载物台

    移动范围 : 8”X 8”mm 

    选配:圆晶台板

    移动范围 : 8”X 8”mm 

    选配:圆晶台板



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