TAKAOKA TOKO MIS-CA1804T/MIS-CA1303T半導体用フォトマスク欠陥検査装置
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    MIS-CA1804T/MIS-CA1303T半導体用フォトマスク欠陥検査装置特長:


    高速・高感度Die-DB検査

    CD欠陥を敏感に検出

    オフラインレビューが可能

    (検査と同時処理の場合はクラスタPCが別途必要)

    DieとDB検査領域の混在検査が可能(オプション)

    MIS-CA1804T/180nmデザインルールに対応

    (最小検出欠陥サイズ:250nm)

    MIS-CA1303T/130nmデザインルールに対応

    (最小検出欠陥サイズ:180nm)



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