TAKAOKA TOKO RVI-S8010FC-CSP基板バンプ検査装置
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    FC-CSP基板バンプ検査装置RVI-S8010特長:

    RVI-S8010は新型センサを採用したFC-CSP基板(STRIP)バンプを高速/高精度に検査する全自動バンプ検査

    装置です。バンプ高さだけでなく、二次元解像度の向上により、バンプTOP径計測においても精度向上を

    実現。また、独自のワーク供給方式で30s/Sheetを実現。

    (Sheetサイズ240×77(mm)、48UNIT、計測エリア10×12mm) バンプ形状はラウンド、フラッタニングどちらも

    計測可能です。


    FC-CSP基板バンプ検査装置RVI-S8010仕様


    装置形態

    インライン機 ストリップ検査

    装置形式

    RVI-S8010

    有効視野領域XY

    13.0x13.0

    11.0x15.0

    15.0x11.0

    Z計測範囲

    300μm

    XY分解能

    6μm

    バンプ径

    ≧50μm

    バンプピッチ

    ≧90μm



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